Hersteller: FRT

Technische Spezifikationen:

• Messbereich in x-/y-Richtung: 415 x 305mm
• Messbereich in z-Richtung: 600 µm
• Auflösung lateral: bis zu 2 µm
• Auflösung vertikal: bis zu 6 nm
• Messgeschwindigkeit: bis zu 300 mm/s

Anwendungsbereich:

• 3-d Messungen von Oberflächen im Mikro- und Nanometerbereich